多晶硅還原電極如何延長使用壽命
發(fā)布時(shí)間：2019-3-12 17:18:44 來源: 作者: 鎮(zhèn)江市旺盛合金材料有限公司
?因?yàn)楝F(xiàn)有還原爐的每個(gè)電極上固定的是1根硅芯，而多晶硅還原電極發(fā)熱體的每個(gè)電極上固定的是4根硅芯，如果所用的硅芯與現(xiàn)有還原爐發(fā)熱體一樣長、一樣的直徑，多晶硅還原電極發(fā)熱體的表面積就是現(xiàn)有發(fā)熱體硅芯的4倍。如果還原爐里的壓力、流量和溫度等工藝條件不變，采用該發(fā)熱體的生產(chǎn)速度就是原來的4倍，因此，多晶硅還原電極發(fā)熱體可以大幅度加快生產(chǎn)速度。采用多晶硅還原電極發(fā)熱體，除了石墨電極不同外，還原爐的其他部件都不需要作任何改動(dòng)，所以用起來比較容易。由于還原爐沒有變，所以三氯氫硅和氫氣的流量也可以不變，也就是說，生產(chǎn)的速度快了，生產(chǎn)的多晶硅多了，而尾氣帶出的熱量沒有變，損失的電能是一樣的，因此，可以節(jié)約電能，降低生產(chǎn)成本。
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